差動排気系キット付 質量分析計 Qulee with YTP-H
- 機種名
- 差動排気系キット付 質量分析計
- 型番
- Qulee with YTP-H
- メーカー
- アルバック（A）
- 価格
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特長
●コストパフォーマンス抜群の高感度仕様 差動排気系付のためプロセスモニタリングから残留ガス分析（RGA）までを1台で対応可能
●コンパクト設計 標準排気ユニットDesktop YTPを採用したコンパクト設計
●表示部一体型の設計 PCレスでも測定可能
●簡単操作OneClick機能（だれにでも簡単、複雑な操作は不要）
●低騒音：運転音が43dB（A）以下の低音設計
●リークテスト機能の充実
●ヘリウムリークテスト、エアリークテスト、ビルドアップテストが可能
●Ethernet対応Qulee QCS（Ver.4）付属ソフトウェアが標準搭載（Windows7/8/10）
●●用途
●研究開発用途向け各種ガス分析
●スパッタリング装置、真空蒸着装置などのプロセス中のガスモニタ
●スパッタリング装置、真空蒸着装置などの残留ガス分析
●高真空排気装置の残留ガス分析
●真空浸炭炉のエンドポイントおよび酸素濃度の確認
●凍結乾燥装置の乾燥ポイントおよび不純物の確認
主な仕様
●ガス分析計本体：QuleeBGM2-202
●最大サンプリング圧力：1Pa
●真空仕様ガス導入系（3000～1Pa仕様）：手動ベローズバルブ（2系統）・取合フランジICF070
●測定質量範囲：1～200（BGM2-202）
●排気ユニットDesktopYTP（YTP70A-D）-AC
●▼ターボ分子ポンプ：排気速度70L/s（N2）
●▼YTPドライポンプ：排気速度20L/min（ダイヤフラム型）
●▼到達圧力：10-6Pa台
●入力電圧：単相AC100～240V,300W
●ソフトウェア：QuleeQCSVer.4.0以降（Windows7/8/10対応）
●●QuleewithYTP-H付属品
●▼LANケーブル：3m 1本
●▼Qulee用AC電源アダプタ：1個
●▼YTP用電源コード（日本国内仕様）：1本
●▼取扱説明書PDFファイル）：使用コンポーネント分、各1式
●▼組立手順書：1式
●▼ソフトウェアインストールディスク：1式
●▼組立用ボルトナットワッシャ：各1式
●▼組立用ガスケット：各1式
●▼YTP吸気口用保護メッシュ：1枚